Process Design Kit（PDK）工艺设计工具包是为模拟/混合信号IC电路设计而提供的完整工艺文件集合,涵盖了工艺、器件、版图、电路等多层次的设计、验证环节,是沟通IC设计公司、代工厂与EDA公司的桥梁,它在当今集成电路设计和制造流程中扮演着不可或缺的角色。PDK套件的质量直接影响着整个工艺开发的效率及品质。因此要想开发一套高质量的PDK，验证方法就变得尤为重要。PDK的QA是一项非常复杂化的设计工作，需要一套行之有效的设计开发流程，本文主要工作内容是针对PDK套件中的LVS(Layout versus Schematic) commandfile开发一个比较完整的验证系统。开发的过程是以0.5um process为工艺基础，Synopsys公司的Laker为软件平台，Perl,tcl为汇编语言，通过对传统PDK验证方法的研究，针对耗时巨大，覆盖面窄等缺点提出更完整、更有效的新验证规范，作者主要详细阐述了利用Perl和tcl/tk语言开发LVS验证的整个流程，包括界面的开发，输入参数的选取，test pattern的产生，测试report的分析等，为了增加测试模型的多样性，验证系统中还添加了STD CELL以及典型模数电路(Bandgap)的测试模块。通过具体制程的实践测试表明，此系统以自动化调用方式的测试模型，不仅能够提高建模速度，而且能大大增加建模的数量，产生具有高覆盖性的PDK测试模型。本论文对PDK验证系统的研究开发，意在提高PDK套件的品质，缩短整个PDK的开发周期，使其能更好地服务于IC设计、工艺制造过程中。经过大量工艺制程的测试，此验证系统达到了最初设定目标。随着制造工艺的发展，PDK中所包含的参数及功能也会日趋复杂，PDK验证系统在PDK开发工作中会起着越来越重要作用。