面向器件行为的MEMS宏建模方法研究

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【摘要】

：

随着MEMS产品的多样化和功能结构的复杂化,微机电系统已成为多个学科相互融合的系统,其功能的实现是多个能量域相互耦合、综合作用的结果,这样,系统级建模与仿真越来越依赖于器件级宏模型的准确性。针对强耦合、非线性的MEMS器件,如何有效实现在多能量域耦合分析的基础上提取宏模型,完成系统级多信号仿真分析,成为当前MEMS设计领域的重要课题。本文针对典型的MEMS器件,研究了三种不同适应条件下的半解析宏建

【作者】

：

吕湘连

【机构】

：

西北工业大学

【发表日期】

：

2005年02期

【关键词】

：

MEMS 宏建模半解析

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