本文采用金属有机化合物热解法(MOD)，选择PZN-xPT材料体系，系统考察了化学组成、溶液特性、衬底特性、热过程等工艺参数对陶瓷膜相结构的影响规律。利用溶液的化学特性，提出在湿化学法中实现B位离子预合成的新方法，结合一步高温热解晶化工艺及钙钛矿结构PZT过渡层的引入，有效抑制了PZN-xPT薄膜中焦碌石相的生成，显著提高了PZN复合陶瓷膜的钙钛矿相稳定性，改善了薄膜的显微结构特性。确定了有利于陶瓷膜钙钛矿相结构生长的最佳工艺。 　　本文系统研究了PZN-PT、PZN-PZT(53/47)及PZN-PLZT(4.3/52/48)不同复合体系陶瓷膜材料结构与性能的相关性，实现了材料性能的优化。(111)取向生长的PZN-0.8PZT薄膜，在自发极化和剩余极化值未明显改变的情况下，矫顽场强比常用PZT压电薄膜显著降低，减小了陶瓷膜材料的工作电压，改善了材料的使用特性；通过复合实现了薄膜材料光学性能的优化，(111)PZN-0.8PLZT薄膜的折射率明显提高，在光波长为632.8nm时，其折射率nr达到2.4377，比(111)PLZT薄膜提高0.0233，为其在器件中的应用设计提供了依据。分析了陶瓷膜材料性能优化机理。