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来源 :西北工业大学 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
磁通门传感器作为一种综合性能优良的磁测量器件,近年来在地磁研究、石油测井、空间磁场探测、航空航天、微型卫星、生物医学、电流测量等诸多领域得到了广泛的应用。然而受
【作 者】
:
吕辉
【出 处】
:
西北工业大学
【发表日期】
:
2015年期
【关键词】
:
微型磁通门
MEMS传感器
微加工技术
多孔铁芯
低功耗
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