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气浮支承广泛应用于精密制造装备工作台、IC制造、高精密加工机床、光学测量设备等。气浮支承的承载力、动刚度和稳定性是影响装备动力学特性,进而影响精度的主要因素,承载力不足、动刚度低是限制其在精密加工工作台中应用的关键。提高气浮支承的承载力和动刚度、提高其抗扰动能力具有重要的工程实用价值,也是业界的研究难点和热点。本文提出采用陈列式压电作动器动态改变气浮支承的结构形状,动态改变气膜形状及气隙流场分布状态,从而显著改善气浮支承的承载力和动刚度。论文的主要工作和创新如下:首先,通过对主动气浮支承总体方案进行