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热超声倒装键合作为前沿封装技术具有良好的发展前景。要实现高质量、高效率的热超声倒装键合加工,提供超声能量的功率驱动系统应具备频率自动跟踪与功率实时调节功能。本文在仔细分析热超声倒装键合功率驱动系统功能需求与现有研究的基础上,采用数字式控制技术研制了一种新型热超声倒装键合功率驱动系统。与传统锁相式功率驱动系统相比较,本功率驱动系统采用比例积分与数字式锁相环(PI+DPLL)的复合控制方式实现了锁频速度更快、锁频范围更广的频率自动跟踪,具备精度高、自我调整能力强、温度稳定性以及抗干扰性能好等优