本文主要研制一种新型免疫传感器,这种免疫传感器能从大量待检测的生物分子群中,高分辨性及量化检测出某种特异性生物分子。文中将采用有限元分析方法及完整的理论数学模型,设计仿真出这种基于悬臂梁结构及抗体-微磁球技术的新型生化免疫传感器,同时实现传感器的可复用性。特别是此种免疫传感器很容易通过微细加工技术进行批量生产。同时,应用ANSYS、Matlab、Femlab等分析软件,设计仿真出悬臂梁表面的微电磁场分布规律,从而得到实现抗体-微磁球技术所需的微电感线圈结构。文中介绍的方法与结论,为采用U型悬臂梁结构和抗体-微磁球技术,在微通道内对特异性生物分子的分离与检测系统的实现打下了坚实的应用基础。此生物传感器的制造工艺介绍包括单晶硅工艺和绝缘体上硅工艺。因为二氧化硅埋层可以提供刻蚀终止,选用绝缘体上硅工艺制造可以大大降低悬臂梁的厚度。基于绝缘体硅的传感器的版图和工艺设计都是按照中国电子科技集团13所的MEMS线的工艺规范进行的。同时本文还提出了多功能悬浮点阵仪。现在生物检测与人的生命息息相关,而检测方法的简便性和检测结果的准确性尤其被关注。本文主要从操作的简便性和结果的准确性出发,设计了双面微块的结构。并且讨论确定了微块的制作工艺流程。