ZnSnO气敏材料的制备、掺杂及其气敏性能研究

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通过对钙钛矿型复合氧化物偏锡酸锌ZnSnO<,3>气敏性能的测试和研究,发现ZnSn03制备的气敏传感器对乙醇具有良好的气敏性能。本文以ZnSnO<,3>为主要研究对象,分别对这种材料的制备新工艺、气敏性能、掺杂改性等方面进行了试验研究,并对其气敏机理进行了初步的探究。 用离子置换低温烧结法对ZnSnO<,3>粉末进行了制备,并对其制备的气敏传感器进行了气敏测试。测试结果表明:由反应物离子间直接置换制备得到的前驱体ZnSn(OH)<,6>,500℃煅烧24小时制备的ZnSnO<,3>粉末所制得的烧结型气敏传感器在工作温度为250℃时,对1000ppm的乙醇气敏的灵敏度达17.593,且选择性较好。XRD图谱分析表明:用新工艺制得的ZnSnO<,3>粉末中未检测到其它相,说明ZnSnO<,3>粉末为纯相;EDS分析结果表明前驱体中无杂质元素;TEM分析结果表明新工艺合成的ZnSnO<,3>粉末粒度达到纳米级尺寸。 分别选用贵金属系列和TiO<,2>、La<,2>O<,3>对ZnSnO<,3>粉末进行了掺杂改性,结果发现:La<,2>O<,3>或TiO<,2>能大幅提高气敏传感器对乙醇的灵敏度;在有其它气体存在的情况下,对乙醇保持较好的选择性。掺入La<,2>O<,3>和TiO<,2>的ZnSnO<,3>气敏传感器具有良好的稳定性和可重复性;掺入LaM<,2>O<,3>的ZnSnO<,3>气敏传感器的响应时间达9s,恢复时间达10s;掺入TiO<,2>的ZnSnO<,3>气敏传感器的响应时间达7s,恢复时间达12s。利用SEM对敏感层表面分析表明:气敏特性和表面的气孔率、显微裂纹分布和晶粒大小有一定关系。 ZnSnO<,3>的研究主要局限在酒敏性能方面。在ZnSnO<,3>中掺杂贵金属PdCl<,2>后发现其对H<,2>有较高的灵敏度,试验确定5wt%为其最佳掺杂量。对掺5wt%PdCl<,2>的ZnSnO<,3>气敏传感器进行了气敏测试,结果表明:在1500ppm的氢气气氛下,灵敏度可以达到50.785,且对LPG、氨气、乙炔和甲醇的抗干扰能力较强;在工作温度为280℃时,气敏传感器的灵敏度将达最大值;掺5wt%PdCl<,2>的ZnSnO<,3>气敏传感器的回复.响应时间足够实际应用。有望能成为一种新型氢敏传感器。 ZnSnO<,3>是N型表面电阻控制型氧化物半导体气敏材料。当两种以上气体存在时,根据气体表面覆盖度的不同,就产生了优先吸附的现象,这是选择性的原因;并说明了掺杂剂的作用机理。
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