图像版图提取新算法研究

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随着半导体产业的不断发展,超大规模集成电路随着纳米节点的发展应运而生。在元器件微型化、电路规模集成化的现在,作为连接版图设计和版图生产中间环节的版图优化起着越来越重要的作用。在实际版图设计和版图优化的过程中,大多数版图线网是非规则形状的,制造工艺中真实的缺陷轮廓也是非规则形状的。随机缺陷的版图优化借助图像版图来完成会更加直观,因此从CIF版图中提取图像版图就成为了解决版图优化相关问题的必要选择。本文在分析实际大规模集成电路版图属性的基础上,提出针对较大CIF版图和大规模CIF版图的两种图像版图提取新算法。对于较大的CIF版图,在定义基本图形的矩形范围、CIF版图的矩形范围、滑动窗口的位置和滑动窗口的滑动规则等概念的基础上,本文提出了基于滑动窗口的图像版图提取新算法。该算法通过控制滑动窗口在CIF版图矩形范围内的滑动,进行多次连续输出,实现了较大CIF版图的分区域完整提取。同时,基于滑动窗口的图像版图提取新算法在提取图像版图的过程中,还可以统计线网个数、提取时间、图像版图个数等相关的CIF版图数据,该结果为进一步的版图精确优化鉴定了基础。相对于现有的图像版图提取算法,新算法不仅解决了较大CIF版图的完整提取问题,还具有提取参数准确、提取过程透明化等特点。对于大规模的CIF版图,数据量是非常大的,提取时间随着数据量的增长也在急速增长。基于判断模型的图像版图提取新算法采用了CIF版图基本图形和输出窗口的位置关系判断模型,该模型通过比较基本图形和输出窗口的位置关系来选择有效的数据信息进行处理,同时跳过无效的数据信息,以减少无效数据的处理时间。同时,该算法采用了分块读取和多端口输出的方式来处理大规模CIF版图的数据。在数据读取方面,以分块读取的方式代替整体读入或逐行读取,减小内外存之间数据交换的次数,从而缩短数据处理的时间。在图像版图输出方面,以多端口输出的方式代替单端口输出,减少CIF版图的打开次数,从而缩短文件处理的时间。在多个实验版图和OpenSPARC电路版图上的图像版图提取结果表明,基于判断模型的图像版图提取新算法不仅实现了大规模CIF版图的高效提取,还具有稳定性高、易扩展、可移植性好等特点。
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