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【摘 要】
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微型电子机械系统(MEMS)作为20世纪末新型科学技术,发展十分迅速。MEMS基体的摩擦磨损和润滑对整个MEMS系统的稳定性和寿命起着决定性作用。自组装薄膜(SAMs)具有制备工艺简单、减摩抗磨性能优异等特点。本项研究工作采用自组装技术,在二氧化硅和单晶硅片表面生成致密有序的3-巯丙基三甲氧基硅烷自组装膜(MPTS SAM),并在其表面巯基官能团(-SH)氧化为磺酸基官能团(-SO3H)后,在-S
【机 构】
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上海交通大学
【发表日期】
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2007年10期
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