【摘 要】
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微型发光二极管（Micro light-emitting diode,Micro-LED）是集成电路、显示和分立半导体器件行业的交叉。Micro-LED显示具有自发光、高效率、低功耗、高集成、高稳定性的优点,被称为“下一代显示技术”,甚至是“终极显示技术”。要实现Micro-LED的产业化还有许多技术难题需要攻克,业界一般认为巨量转移技术是制约Micro-LED显示快速发展的关键技术之一。为深入研
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微型发光二极管（Micro light-emitting diode,Micro-LED）是集成电路、显示和分立半导体器件行业的交叉。Micro-LED显示具有自发光、高效率、低功耗、高集成、高稳定性的优点,被称为“下一代显示技术”,甚至是“终极显示技术”。要实现Micro-LED的产业化还有许多技术难题需要攻克,业界一般认为巨量转移技术是制约Micro-LED显示快速发展的关键技术之一。为深入研究巨量转移技术在Micro-LED显示器件制备过程中应用细节,本论文利用相关工艺制备了凸点尺寸30μm×50μm,凸点间距为126.9μm,对应的像素密度为200 PPI（Pixel Per Inch）的凸点式聚二甲基硅氧烷（Polydimethylsiloxane,PDMS）转移模块,并利用该转移模块进行了Micro-LED转移。本论文的研究内容主要包括3个部分:1、介绍了不同类型的显示技术,Micro-LED显示的关键技术以及Micro-LED国内外研究现状。同时,介绍了目前业界出现的几种巨量转移技术方案,并着重详细阐述了各方案的技术原理和优劣势。2、阐述了转移模块的开发背景,对比并确定了转移模块结构和材质的最优方案。采用光刻工艺和干法刻蚀工艺,在4英寸硅晶圆上制作了转移模板。3、采用纳米压印设备制作了凸点式PDMS转移模块,并对该转移模块进行了表征。使用该转移模块成功将三色Micro-LED转移至驱动背板上,转移良率在99.9%以上。自制的高质量转移模块可用于替代进口材料,对国内Micro-LED巨量转移的发展有一定的积极作用。
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