多弧离子镀Ti<,1-X>Al<,X>N涂层的组织结构及性能

来源 :哈尔滨工业大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:czy239239
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该文采用多弧离子镀技术,选择Ti-Al合金及Ti-Al粉末热压烧结靶,在W6Mo5Cr4V2高速钢(HSS)表面成功地沉积了不同成分的TiAlN涂层.利用扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)、能谱仪(EDS)、X射线衍射(XRD)、小掠射角X射线衍射(GXRD)、横截面透射电子显微镜(XTEM)、商发辨电镜(HREM)、X射线光电子能谱(XPS)、俄歇电子能谱(AES)以及显微硬度计、涂层结合力测试仪、摩擦磨损试验机等技术和设备,研究了TiAlN涂层的成分、组织结构、界面结构及其抗高温氧化行为与摩擦学行为.
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