本文分析了利用两步离子交换工艺在铒镱共掺磷酸盐玻璃衬底上制作的掩埋式光波导的理论特性，以及工艺参数对增益的影响。首先求解扩散方程得到了光波导的杂质离子浓度分布、折射率分布以及通过求解二维标量波动方程得到了模场分布；然后先后讨论了掺铒光波导放大器和铒镱共掺光波导放大器的特性，包括增益特性、ASE特性以及噪声指数，并且将数值模拟结果和测量结果相比较；最后通过信号光和泵浦光与铒离子浓度分布之间的重叠因子将波导的制作工艺和铒镱共掺光波导放大器的增益联系起来，得到了工艺参数和放大器增益之间的关系。由增益特性可以看到要想提高铒镱共掺光波导放大器的性能，需要将各个参数配合起来，包括铒离子浓度、泵浦功率、信号功率、波导长度等；并且由工艺参数和增益之间的关系，可以看到在保证单模波导的情况下，可以通过延长离子交换时间、选择合适的掩模宽度、适当提高离子交换温度等来提高波导对模场约束，从而提高光波导放大器的增益。