光刻是半导体制造工艺中最为重要的步骤之一，它决定了整个集成电路工艺的技术水平，而投影物镜是光刻机的重要组成部分，直接影响到光刻机成像质量、光刻分辨率以及关键尺寸均匀性等光刻技术指标，因此光刻机的投影物镜波像差是光刻机中关键的检测指标之一。横向剪切干涉测量技术是目前主流的投影物镜像差原位测量方法。本文研究基于横向剪切原理搭建的高精度像差检测平台的定位及图像采集控制系统。　　首先介绍了在该系统中涉及到的运动控制台及图像传感器的发展历程及现状，并研究了基于虚拟仪器的运动控制的发展及现状。然后详尽说明了高精度像差检测平台的系统结构，根据该平台进行像差检测的原理及流程。　　其次，针对波像差计算对图像质量要求较高的情况，本文研究了CMOS图像传感器采集图像的原理及结构，以及图像传感器的噪声分类和产生原因。并重点研究了人眼敏感的固定模式噪声的校正方法及各校正方法效果的比较。　　之后，设计了像差检测运动控制软件。首先介绍了系统软件的设计思路及现有程序的不足，针对现有程序不足，依次设计了掩模台运动控制程序、优化了用户界面及扫描运动轨迹，最后集成各部分软件程序以满足波像差检测流程要求。　　最后，总结了本论文的研究内容及成果，并对之后的工作进行了展望。