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【摘 要】
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在工业应用中通过表面涂层技术来提高切割工具、轴承、模具等的寿命是非常重要的,因此低摩擦系数、高硬度及耐腐蚀和抗氧化的涂层材料一直受到人们的重视。金属碳化物和氮化物是常用的硬质涂层材料。过渡金属氮化物特别是TiN,常被用来做工模具的防护涂层。但是单层薄膜的性能无法满足应用上越来越苛刻的要求,这种情况下,具有更高硬度、耐腐蚀性及抗氧化性的双层和多层复合涂层技术开始广泛应用。本文采用直流反应磁控溅射法在
【机 构】
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南昌大学
【发表日期】
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2011年06期
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