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随着MEMS的发展,微构件材料力学性能研究越来越受到国内外研究人员的重视,但是目前测试所得微构件材料的力学性能参数分散性很大,甚至连最基础的弹性模量都没有一个一致公认的结果。在进行MEMS结构设计时,由于缺乏有关微构件材料力学性能的基础数据,还没有建立起一个有效的机械可靠性设计准则,这严重阻碍了MEMS的发展。因此,本课题以MEMS材料力学性能测试为切入点,深入进行MEMS典型材料的测试测量技术研究,目的是为典型的MEMS器件结构设计和工艺加工提供理论指导与数据支持,进而提高MEMS器件性能、成品率