【摘 要】
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本文采用非平衡磁控溅射离子镀技术在铝合金表面制备了具有减摩自润滑性能的类石墨镀层(Graphite-Like Carbon简称GLC)。通过改变等离子清洗工艺参数、沉积负偏压和打底层,优
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本文采用非平衡磁控溅射离子镀技术在铝合金表面制备了具有减摩自润滑性能的类石墨镀层(Graphite-Like Carbon简称GLC)。通过改变等离子清洗工艺参数、沉积负偏压和打底层,优化类石墨镀层在铝合金基体上的性能。使用扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)对等离子清洗后基体表面的微观形貌和类石墨镀层的截面组织进行了观察与分析;使用显微硬度计、划痕仪和球-盘摩擦磨损试验机对镀层的显微硬度、结合强度、摩擦系数和比磨损率进行了测定。研究结果表明:增大等离子清洗负偏压和延长清洗时间,能加剧等离子体对基体表面的微刻蚀作用,有利于提高膜/基结合强度。但清洗负电压过高、清洗时间过长对基体表面造成损伤,影响表面粗糙度。等离子清洗工艺参数为-400V,30min时,镀层的结合强度较大,摩擦系数最小。增大沉积负偏压,镀层的厚度呈递减趋势,镀层的复合硬度、临界载荷的变化先升后降,在65V时达到峰值。打底层的选择对于改善铝合金基体与类石墨镀层的结合强度有较大作用。以铝打底的类石墨镀层在铝合金基体上表现出较好的结合强度及摩擦学性能。
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