ZAO（掺铝氧化锌）薄膜由于其宽禁带特性、导电特性而有重要应用，对其红外波段特性的研究更是人们研究的一个热点。本文采用溶胶-凝胶的方法合成了透明的溶胶，以石英玻璃为衬底，采用浸涂的方法制备了ZAO薄膜。对其不同条件下的结构特性、表面形貌、可见光透过率以及红外发射率进行了研究。得到如下结论： 1、XRD分析发现ZAO薄膜具有ZnO的六方纤锌矿结构，衍射峰和晶面间距发生了变化，随掺杂浓度的升高（低于10mol％时）衍射峰向大角度移动，晶面间距变小，无Al2O3或Al等其他的杂相出现，并呈现出明显的沿（002）方向择优生长的特性；掺杂浓度为15mol％的薄膜中出现了一些异常长大的六边形氧化锌颗粒，说明高掺杂下氧化锌晶粒的生长受到了明显的抑制； 2、热处理温度（500-800℃）对ZAO薄膜的结晶质量有明显的影响，SEM图显示退火温度为500℃时晶粒小而不规则，700℃时晶粒生长有序，薄膜结晶质量好，择优生长特性最佳，达到800℃时，晶粒生长饱满，甚至出现二次结晶现象，导致材料晶粒均匀性变差，有较大颗粒出现，缺陷增多；ZAO薄膜在可见光波段（400-780nm）的透过率约为80％，其中热处理温度为700℃时可见光透过率达到90％； ZAO薄膜在8-14um的红外发射率随热处理温度的增加先下降后上升，其中在700℃时的红外发射率最低，数值为0． 731； 3、随着掺杂浓度的升高（0mol％，3mol％，6mol％，9mol％），XRD显示其择优生长特性先变强后变弱，当掺杂浓度为6mol％时其择优生长特性达到了最大，而在9mol％时下降；ZAO薄膜在可见光波段（400-780nm）的透过率随掺杂浓度的升高有下降的趋势，9mol％时为50％； ZAO薄膜在8-14um的的透过率随着掺杂浓度的升高先增大后减小，掺杂浓度为6mol％的薄膜在8-14μm波段的透过率达到78％；随掺杂浓度的升高8-14μm红外发射率先下降后上升，6mol％时最低为0．731（热处理温度为700℃）； 5、薄膜浸涂一次（约80nm）时晶粒生长不完全，比较分散，颗粒形状不规则，表面粗糙，其红外发射率高达0． 811；随厚度的增加（μm量级），晶粒排列有序，结晶质量变好，红外发射率基本稳定在0． 735左右。 最后，依据磁性纳米离子所具有的优良吸波特性，尝试了用相同的方法制备了镍掺杂ZnO薄膜，结果表明Ni掺杂的氧化锌薄膜具有择优生长特性，不同热处理温度对其结晶性能影响很大，600℃时晶粒规则有序，在可见光波段及红外波段具有较高的透过率，但其红外发射率较高，均达0．8以上。