射频／微波电感耦合等离子体自上世纪九十年代初出现以来，以其突出的优点和优越的性能受到越来越多的关注和研究，但是由于射频／微波电感耦合等离子体技术发展比较晚，目前还没有成熟的理论和计算设计方法。随着现代科技和MEMS工艺的发展，人们对电感耦合等离子体源的性能提出了更高的要求，所以如何有效地设计电感耦合等离子体源就成为电感耦合等离子体技术中的重点和难点。本文针对目前人们对小功率平面螺旋微波激励的ICPS的需求，对平面微带螺旋微波激励的ICPS进行了理论上的分析，进而对其参数进行了等效分析计算，分别用MATLAB和HFSS进行了仿真，以观察电感线圈的匝数n、微带线的宽度w、匝间距s等参数对天线性能的影响，尤其是对品质因数Q的影响。从MATLAB的仿真结果看，在固定的外直径的情况下，匝数n、线宽w、间距s都分别存在一个最佳值，使得电感线圈的品质因数Q取得最大值；不同的外直径，参数的最佳值是不同的；用HFSS对电感线圈不同的尺寸进行仿真；两种结果进行比较，基本吻合。最后设计出2.45GHz微波源的平面微带螺旋ICPS天线，天线的线圈部分外直径为2mm，总长度为3mm，天线的Q值达到800多。此天线具有了小型化、易集成等特点，为长寿命、高密度、分布均匀等离子体的激励提供了一定的理论基础。