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本文详细的阐述了电光采样的原理，电光采样的系统结构，系统中各主要结构的原理及实现方法。推导出了共面波导中电信号的测量公式。详细的介绍了阻抗变换理论，频域失配修正的算法。针对系统的结构建立模型，设定合理的模型参数，利用ADS2003对系统模型进行仿真。再利用ADS2003仿真测量的过程。用Matlab实现校准算法，对ADS2003仿真得到的波形进行校准，得到了很好的校准结果。
该技术的精度很高，带宽可以达到250GHz，并且可以克服传统校准技术的缺点，可望达到更高的时间分辨率和电压敏感度。更重要的是它有望成为宽带谐波相位溯源计量标准。