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采用硝酸镉阳离子前驱体溶液,硫化钠阴离子前驱体溶液,通过一种新的原位化学反应沉积法在玻璃基片上研究了纳米晶CdS薄膜的制备。络合剂单乙醇胺的添加量、循环次数、热处理温度、阴阳离子前驱体溶液中S:Cd摩尔比和硫源温度对薄膜结构、形貌、化学组成和光学性能的影响通过X射线衍射(XRD),场发射扫描电镜(FESEM),能谱仪扫描电镜(EDS),高分辨透射电镜(HRTEM),原子力显微镜(AFM),紫外-可见光分光光度计(UV-Vis)进行了调查。结果表明,用原位化学反应沉积法制备的CdS薄膜是六方纤锌矿晶型