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论文完成了一种新的离散事件仿真引擎理论建立和实际软件开发。基于工作流理论构建离散半导体制造企业模型消除了半导体企业中加工设备、程序和缓冲区三者间的紧密多对多耦合关系,从而大幅度简化了实际半导体模型的建立工作,也更符合相应调度算法的针对单缓冲区的要求。基于工作流的半导体制造离散事件仿真引擎同很多现有的商业仿真软件不同,将产品流程同物理设备分开描述,从而更加符合半导体生产线多个流程同时在同一生产线加工的建模需求。针对基于新理论的仿真引擎仿真速度缓慢的问题,论文还提出了一种新的优化方法——分区加速,使得在不增加任何模型复杂度的情况下,获得了普遍情况下150%,极端情况下360%的仿真运行速度效率提升。