ESEM高温环境的创建及其应用

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该文根据升温快、体积小、电磁屏蔽性能好等要求,设计并制作了微型加热样品台,建立了完整的加热台控制系统.硬件设备包括微型加热台、智能温度仪表及外接可控硅输出电路、计算机等.该文还利用MCGS组态软件编制了在Windows下运行的加热台温度控制界面.该文设计制作的智能化温度控制系统易于操作,更改和升级,也可推广至其它应用方面.温控仪表采用以PID和模糊控制理论相结合的人工智能控制,具有可实时控制、超调小、控制精度高等优点.微型加热台在远端计算机控制界面或近端温控仪表的控制下,结合温控仪表的智能调节、数据通讯等功能,提供样品需要的高温环境.
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