随着飞秒激光技术和光刻工艺的发展,使得太赫兹辐射的产生和太赫兹器件的应用得到迅猛的发展。亚波长金属阵列结构表现出的超常透射现象,使得这种结构在制造太赫兹器件方面表现出非凡的特性。由于金属结构较小无法用于直接的实验测量,而必须镀在相应的衬底上,因此本文通过数值模拟和实验先研究了衬底材料对金属阵列结构的太赫兹光谱特性的影响。接着又研究了几种金属栅网结构和系列非对称十字叉丝结构的太赫兹光谱特性,这对于小型化太赫兹器件的制造具有重要的指导意义和实际应用价值。本文的具体工作主要包括：1、研究了不同衬底材料和衬底厚度的矩形孔金属结构太赫兹透射性质,通过数值模拟研究发现,对于同一种衬底材料,随着衬底厚度的增加,矩形孔金属结构的透射峰峰位向低频移动。比较高阻硅和聚四氟乙烯两种衬底材料发现,高介电常数的硅衬底引起的透射峰移动更为明显。2、数值模拟了三种双层二维栅网结构夹层介质厚度的变化,对其太赫兹光谱特性的影响。发现随着其夹层厚度的增加,其太赫兹透射峰峰位向低频移动。3、研究了四个系列的非对称十字叉丝结构的太赫兹光谱特性,发现非对称十字叉丝的各边边长,周期,以及边长相对于中心的偏移量对太赫兹波都有很好的调制作用。4、基于模拟和实验研究了三种类型的亚波长二维金属栅网结构在太赫兹波段的滤波特性。研究表明,减少线宽和增大金属线间距可以提高井字形栅网结构的高通滤波性能；改变方块阵列结构的方块边长,可以调制其低通滤波的范围；改变十字叉丝孔阵列结构的孔线长,能调制其带通滤波的频率和带宽。