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来源 :大连理工大学 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
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【作 者】
:
霍伟刚
【出 处】
:
大连理工大学
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
感性耦合等离子体
调谐基片自偏压
射频Langmuir探针
容性探针
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