随着OLED成为第三代显示面板时代的到来,与OLED相关的生产制造和检测技术都要求相应的得到提升。针对OLED良品率低这一缺点,应用于OLED缺陷检测的AOI(自动光学检测)技术也得到了迅猛的发展。但快速AOI检测技术除高速图像检测算法外,运动平台快速定位的稳定性及精度仍然是影响其性能的关键技术之一。本文面向OLED缺陷检测的快速精密定位平台开展研究,设计和搭建精密运动平台系统,重点开展精密运动平台的模糊自适应滑模控制方法研究与实现,开发运动平台控制系统的人机界面。主要的研究内容如下：1、调研精密运动平台技术的国内外研究现状和发展趋势,掌握精密运动平台的结构组成和驱动技术的特点,设计和构建永磁同步直线电动机驱动的大行程龙门式精密运动平台系统,并采用基于PMAC的开放式控制系统作为其控制系统。。2、建立永磁同步直线电动机的数学模型,设计一种适用于永磁同步直线电动机伺服系统的自适应模糊滑模控制算法,在Matlab Simulink软件平台上搭建基于自适应模糊滑模控制算法的永磁同步直线电动机伺服系统仿真模型,与传统PID算法进行速度阶跃响应和负载跳跃响应的对比仿真,分析两种算法的系统动态特性。3、运用PCOMM32动态连接库及其与上位机的通讯接口,开发基于Microsoft VisualC/C++软件平台的控制系统人机界面,实现“XY轴快速同步回零”、“默认检测运动控制”、“快／慢点动控制”等基本运动控制功能。4、使用Turbo PMAC的变量和编程语言编写自适应模糊滑模控制算法,通过其自定义伺服算法编译接口OPEN SERVO将自适应模糊滑模控制算法下载到PMAC卡,进行位置环的参数调试,并与内嵌PID的阶跃响应结果进行对比分析实验,验证本文控制算法的有效性。