HfO2光学薄膜激光预处理及其机理研究

被引量 : 0次 | 上传用户:liyanfeiwoshi
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
光学薄膜是激光系统中不可或缺的元件,但在强激光作用下薄膜本身极其脆弱极易发生损伤。为了解决这种矛盾性,必须提高薄膜的抗激光损伤能力。目前提高薄膜损伤阈值的激光预处理方式是国内外研究的热点。但是预处理机理复杂,不同条件下制备的薄膜其预处理机理不一样,研究预处理机理对提高薄膜阈值具有重要意义。Hf02材料具有熔点高、硬度高、热稳定性和化学稳定性好、透光范围宽的特点,重要的是Hf02在高折射率材料中具有很高的激光损伤阈值。因此论文选择Hf02薄膜为研究对象,研究其预处理机理。本文采用电子束热蒸发技术制备了Hf02单层薄膜,并用10%、30%、50%、70%的损伤阂值能量对薄膜进行了1-on-1方式的激光预处理。通过对比预处理前后薄膜的表面微观形貌、微观结构、光学性能及激光损伤阈值,研究了激光预处理机理。基于杂质清除机理,采用了三种辐照方式对薄膜进行了激光预处理,对预处理后的薄膜激光损伤阈值进行了测试;在清洗过的基底上制备了单层膜,并对其激光损伤阈值进行了测试。研究结果表明:1、在1-on-1激光预处理方式下,经激光预处理的薄膜样片和预处理前的薄膜样片相比,薄膜表面的杂质和损伤斑个数明显减少,损伤阈值增大,表明激光预处理薄膜能有效清除薄膜内部的杂质,提高薄膜的激光损伤阈值。2、在1-on-1激光预处理方式下,经激光预处理的薄膜样片和预处理前的薄膜样片相比,薄膜表面粗糙度降低、折射率增大、消光系数减小、透过率向长波方向略有漂移、损伤斑直径和深度均减小,表明激光预处理能平整膜层、夯实膜层和加固膜层。3、与用其它能量阶预处理相比,采用30%能量阶预处理后的薄膜样片粗糙度降低幅度最大、折射率提高幅度最大、透过率曲线漂移幅度最大、薄膜表面的损伤斑个数最少、损伤斑直径和深度最小,激光损伤阈值提高幅度最大,表明在1-on-1激光预处理方式下,30%能量阶对薄膜特性的影响最明显。4、经1-on-1、 s-on-1和n-on-1方式激光预处理后,薄膜损伤阈值分别为26.86J/cm12、28.03J/cm2、28.26J/cm2,其与未预处理的薄膜损伤阈值相比,分别提高了46%、53%和54%,表明基于杂质清除机理,上述三种方式对薄膜内部的杂质清除能力均较强,其中n-on-1方式对薄膜内部的杂质清除能力最强;且激光预处理能有效提高薄膜激光损伤阈值。5、采用复合清洗工艺制备的薄膜,损伤阈值为22.10J/cm2,其与未采用复合清洗工艺制备的薄膜相比,损伤阈值提高了22%。
其他文献
<正>在《遵循科学发展,建设高等教育强国》课题开题报告会上,与会的课题组成员进行了热烈讨论,充分发表了意见。其主要内容综合归纳如下。一、为什么要建设高等教育强国清华
烟花爆竹历来是我国人民在庆祝节日或庆典活动中不可缺少的物品,但是,燃放烟花爆竹给大家带来许多欢乐的同时,其在生产、经营、存储、运输等环节中所暴露的安全问题也日益突
自明末鸦片传入中国以来,发展到清中叶,烟毒危害愈演愈烈,为害中国数百年,特别是近代以来,中国饱受鸦片的毒害,历届政府苦无良策。直到1949年新中国成立以后,在短短三年时间
目的:探讨miR-148a是否可以通过靶向PTEN减少对PI3K/Akt信号通路的抑制,从而介导HMGB1引起的小鼠系膜细胞的增殖。方法:1以小鼠系膜细胞MMC为研究对象,随机分为1. normal group;2.
第三方物流作为“第三利润源泉”正受到广大企业的普遍重视。但由于我国物流行业起步较晚,特别是第三方物流行业管理水平、技术水平还相当落后。文章通过对浙江中小型第三方
目的探讨血脂康对合并高血压的老年患者和无高血压史的老年患者冠心病二级预防结果。方法对一项随机、双盲、安慰剂对照试验中的1 530例合并高血压的老年患者(治疗组772例,对
"使用与满足"理论是一种强调受众主体性的传播效果理论,本文通过分层抽样的方式对华东师范大学学生进行了问卷调查,结果显示不同群体学生对微信的使用满意度存在明显的差异,
在中华民族数千年古老悠久而又丰富多彩的历史长河中,我国的民族声乐艺术以其独特的风格和韵味在中华大地上广为传播,散发着它特有的芳香,中国民族唱法经历了一次又一次的洗礼。
税收是国家财政收入的主要来源,但长期以来,由于信息不灵,管理手段落后,以及人工纳税的方式,在征税方面要消耗大量的人力和物力。为了更好的适应财税体制改革,减轻纳税人负担
故意伤害罪是在现实社会中比较频发的一种暴力犯罪。该罪有无未遂问题自20世纪80年代以来越来越受到重视,但无论是理论还是实务中都存在着分歧。尤其是某些典型伤害未遂案件后