作为机械加工的重要工艺，磨削技术是硬脆性材料表面去除加工最适合的途径。为实现硬脆性材料的高效、高精密加工，本文通过理论分析、仿真及试验相结合的手段对磨削机理及工艺进行了深入的研究，主要内容及结论包括：1．对超声振动辅助磨削加工硬脆性材料的各部分机理及普遍的工艺规律进行了研究，分析了表面粗糙度的影响因素,并通过对椭圆振动磨削力的分析计算得出，振动可以明显增强磨粒对工件表面的冲击力。2．对试验设备进行了介绍，测试了振动工具的频率－阻抗特性和工具端椭圆运动特性。对不同模式下的运动特点、运动变化规律进行仿真了分析，得出了椭圆振动模式时磨粒相对工件的三维椭圆状的螺旋曲线轨迹，可以看出单位时间内椭圆振动下加工轨迹明显变长。3．据现有的试验条件展开了超声振动辅助磨削的试验研究。分析结果表明：四种振动模式下，无振动时加工效果最差，超声椭圆振动在表面质量、加工效率等方面都有显著的优势，纵向振动能使磨削深度呈现周期性的变化，能提供纵向的缓冲作用，弯曲振动能加强磨粒的重复磨削作用。试验过程还对在超声振动模式下参数对表面粗糙度的影响进行的研究，得出了最佳的横向进给速度。总之，超声振动辅助磨削加工技术在加工硬脆性材料时体现出很多优势，具有重要的理论意义和良好应用发展前景。