微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜的实验研究

来源 :中国科学院等离子体物理研究所 | 被引量 : 0次 | 上传用户:delphiall
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该文介绍了正在研制的5kW带有石英真空窗的水冷却不锈钢反应腔式微波等离子体化学气相沉积(MP-CVD)金刚石薄膜的实验装置.采用硅胶测试和简单理论推导法得到了微波模式转换器(MMC)的工作物理图象,描述了微波与等离子体的耦合原理.
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