聚合物光子器件近几年来越来越受到人们的关注,本论文针对聚合物电光开关微波电极系统进行了研究。首先介绍了开关的发展和制作材料的种类,说明了聚合物电光开关的研究意义。分析了聚合物电光开关工作机理,为电光开关的设计提供了理论上的指导。叙述了电光开关的光波导材料选择、波导结构、电光开关的光学参数,并着重阐述了电光开关的微波电极系统的概念及其组成。其次说明了表征微波电极系统的性能参数,提出了聚合物电光开关的微波电极系统的共面波导(CPW)行波电极和微带(MSL)行波电极;根据部分电容法导出了电极系统的特性阻抗、微波等效折射率、欧姆损耗、介质损耗等参量的解析表达式,建立了理论计算模型;结合软件模拟与理论计算验证,详细分析了微波电极系统的各性能参数与各尺寸之间的关系,设计了CPW和MSL行波电极。最后,详细介绍了微波电极系统的制备工艺,并制备了多个不同衬底材料、不同介质层的行波电极;制作了用于高频测试用的微波探针;通过电极的测试系统,对各种电极系统进行了二端口微波网络散射参数的测试分析,得到了在0～4GHz的微波频率范围内有良好的S21响应曲线的微波电极。