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随着微机电系统构件的进一步微型化、结构的日益复杂化和精密化,利用机械夹持、真空吸附等方式转移微构件时,由于局部应力集中,容易使微构件表面变形,甚至产生严重的划伤。因此,探索新型的微构件转移方法具有重要意义。为实现100μm尺度下微构件的转移操作,本文提出基于微力传感单探针和液滴辅助的微构件转移方法。分析基于毛细作用的微构件转移方法的可行性,动静态仿真验证微构件转移方法的可行性,并通过实验实现微构件的精确可靠转移。首先,提出基于微力传感单探针和液滴辅助的微构件转移方法。从毛细作用机理入手,阐释润湿特性