本文以国内某大型半导体后段封装测试企业的生产自动化为背景,针对半导体生产车间存在大量不支持SECS/GEM通信协议的机台设备,设计并实现了一种基于非SECS/GEM的半导体生产远程监控系统。首先,在对企业生产调研和需求分析的基础之上,对整个远程监控系统进行了总体设计。主要对系统的硬件连接、功能模块和软件进行总体架构设计,并在此基础上对系统的技术架构和数据存储进行了详细的设计。其次,完成了OCR图像处理模块的研究与设计。整个OCR图像处理模块的研究内容主要包括图像预处理、图像切分、特征提取和字符识别。主要解决了不同设备类型屏幕下的粘连字符和复杂场景等识别难点。再次,设计和实现了客户端,用于连接中央控制服务器和机台设备系统。客户端的设计除了OCR图像处理模块之外,还包括模板库建立、配置和运行的模块。模板库建立的过程是为不同的设备类型建立字符特征库。配置是为机台设备标识不同的屏幕和参数名称。运行的目的在于接收中央控制服务器发送的指令并执行,无论是读取参数指令还是执行动作指令。最后,对整个远程监控系统的子模块、数据库模块进行详细的设计。首先对远程监控系统的子模块进行详细设计,主要包括生产过程监控模块、配方管理模块、数据采集模块、报警管理模块和网络服务模块的设计。然后对数据库模块进行设计,实现了对远程监控系统数据的存储与管理。本文设计的基于非SECS/GEM通信协议的半导体生产远程监控系统,已经在半导体企业生产中得到初步应用,通过实际的生产测试发现,在提高生产效率和降低生产成本方面取得了显著的成效,在一定程度上提高了半导体企业的生产自动化水平。