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柔性器件因其诸多优点和广阔的应用,已引起研究者们的广泛兴趣。研发柔性器件成为国际前沿课题。采用光电性能出色的GaN为p-n结材料、低成本大面积的超薄玻璃为柔性衬底,并开发出低温生长技术,将有助于研制大屏幕的柔性无机发光显示器件。由于玻璃是非晶态的,这使得其上生长的GaN薄膜结晶质量很差,出现表面粗糙、多晶结构等情形。考虑到ZnO与GaN具有相同的六方纤锌矿晶体结构和较小的晶格失配(<2%),采用ZnO为缓冲层在非晶玻璃上生长GaN薄膜。而玻璃低的软化温度又对生长技术提出了挑战,需要开发低温生长技术。