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本文针对目前精密导轨在应用上的一些问题，提出了一种新的导轨副设计方案。详细论述了导轨副的设计过程，运用数学上的拉格朗日条件极值求解法，建立最优化数学模型，求出环矩形负压吸附导轨的结构参数的比例情况，并运用流体力学和气体润滑理论确定了环矩形负压吸附导轨的结构参数、气源气压、承载能力和气膜厚度的确定性结论。针对导轨低速运动时仍可能产生摩擦自激振动的问题，分析了导轨摩擦自激振动的机理，推导出不产生摩擦自激振动的临界速度与导轨副粗糙度的关系，为合理选择导轨的结构及工艺参数提供依据。从而为这种结构形式的负压吸