本文概述了微细加工技术及应用特点,介绍了常用微细特种加工及辅助微细加工工艺,着重分析了微细超声加工和微细电解加工技术的特点与应用现状,进而提出了难加工材料／异型面超声辅助微精电加工这一新技术构想。介绍了超声加工与电解加工的原理、设备、应用特点,阐述了超声辅助微细加工的工艺条件,论述了超声辅助电解加工技术实现微细加工的可行性。对超声振动系统(重点对超声变幅杆)运用ANSYS软件进行优化分析,并进行参数动力学分析。在模态分析中,得到了固有频率；在超声振动系统的谐响应分析中,得到了固有频率下的动态响应,放大系数,并且与解析值相比较,结果证明两者之间基本一致,这为超声变幅杆的优化设计建立理论基础。对连接工具电极的指数型变幅杆进行分析和优化设计。编写VC++源程序,可实现各种类型的变幅杆的计算机辅助编程,用数控车削加工可制作超声加工系统实际应用所需的变幅杆；微细阴极制作工艺是超声辅助微细加工的关键所在,先是制作一个界面,然后在对超声系统优化分析的基础上,利用“组合电加工”工艺制作微细阴极。利用精密电加工机床,通过“平动拷贝”及“多轴联动复合进给”等微细放电方式,制作复合微细加工试验研究所用的阴极,并探讨了制作各类截面微细阴极的基本方法。对压电陶瓷、硅片、硬质合金等材料进行了单一超声加工试验及分析,对硬质合金(YG8、YT15等)进行了超声辅助电解微细加工试验,检验了超声辅助电解微细加工工艺的可行性和复合加工装置工作的可靠性。进行磨擦副表面多种型式微结构(微凹坑、微凸起)结构的超声辅助加工试验研究,对含有微结构的磨擦副表面进行摩擦学分析与磨擦学试验,验证其可降低磨擦副表面摩擦系数,减少磨擦磨损；进行压电传感器压电器件表面微小孔的实际加工工艺研究,加工出的压电器件已在精密、高速、微位移传感器中得到批量应用。论文最后对超声辅助微细加工技术特点进行分析、总结,提出现有工艺方案存在的问题及完善的措施,并对后续研究工作提出了设想和展望。