真空镀膜是在真空环境下,利用物理或化学手段在固体表面生长一层具有特殊性能的薄膜。蒸发源是利用物理手段进行薄膜生长的核心部分,通过加热使源材料蒸发。蒸发有机物,要求蒸发源在较低温度下精确可控,以避免破坏有机物源材料的成分。由于真空环境下热传导和对流效果低,所以精确控制蒸发源在较低蒸发温度成为难题。近年来有机分子薄膜器件的科研和应用迅速发展,对高性能有机物蒸发源的性能要求越来越高,研究有机物蒸发源成为重要课题。本文在综合国内外有机蒸发源结构特征和优点基础上,通过详细的设计,研发制造了高性能的有机物蒸发源。本文基于国际上先进的有机蒸发源的理论计算、前人设计经验及模拟仿真,以电阻为加热方式,利用热辐射传热及热传导冷却相结合的结构形式,有针对性地研究有机分子产生与蒸发装置、加热装置、冷却水循环等辅助装置以及关键零部件设计,搭建一套完整的真空系统进行实际性能测试,并通过对比同类普通热辐射的蒸发源的工作效果印证研究成果,确认完全满足超高真空环境下的有机物蒸发,具有一定的理论意义和实际应用价值。