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热压技术是一项具有成本低廉、快速高效等特点的微纳加工技术,广泛应用于制作聚合物微纳光学器件、微纳流控芯片等微纳器件。在非真空环境中热压,容易在模板和基片之间出现气泡,影响热压制作的图形质量。论文的主要研究内容如下：针对RYJ-Ⅰ型热压成形机不具备真空系统的问题,设计了一种能够自适应调整压头板位姿的热压真空装置。制定了适用于RYJ-Ⅰ型热压成形机的热压真空装置设计方案。设计了热压真空装置的机械结构。设计了以半导体热电致冷器为加热和制冷器件的温度控制系统,计算分析了热电致冷器的加热和制冷功率,选