太赫兹(THz)波是频率范围分布在100GHz到10THz的超高频电磁波,太赫兹波的频谱位于毫米波和红外线频谱之间,具有独特的性质。进入二十一世纪以来,对于太赫兹波的实用性研究越来越受到关注,在各个太赫兹应用系统中,频率选择是对太赫兹波进行处理的步骤中必不可少的一项,所以设计制造高效可靠的太赫兹滤波器就显得非常有价值。本文介绍了太赫兹频段滤波器技术的发展动态,以及太赫兹滤波器设计原型的理论推导,计算。在此基础上,总结了太赫兹滤波器的加工方法,确定了滤波器的实现形式。在太赫兹大气传输三个关键窗口频段上,建立了腔体滤波器三维电磁仿真模型,并针对滤波器结构开展研究,并完成了性能优化,开展了三个频段滤波器的实验研究。研制的滤波器工作在太赫兹大气传播窗口和氧分子吸收窗口频率,可以分别应用在通信系统和气象探测等领域。滤波器采用矩形谐振腔和圆柱形谐振腔结构,实验表明在220GHz和440GHz频段内,矩形谐振腔滤波器插入损耗性能均优于2dB,回波损耗优于12dB;在340GHz频段内,滤波器采用新型圆柱形谐振腔结构,插入损耗最大值为5dB。根据实验结果,对影响滤波效能的参数进行容差分析、对装配方式的影响进行了仿真研究、针对实验中出现的问题做了第二版仿真,并与实验结果进行对比。最后对利用3D打印技术制造太赫兹滤波器进行了探讨。本文的研究成果对研制太赫兹腔体滤波器具有积极的意义和工程价值。对新型滤波器的研究奠定了一定的基础和积累了宝贵的经验。