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来源 :杭州电子工业学院 杭州电子科技大学 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
该文将着重讨论目前集成电路工艺在布线所引起的两个新的问题.首先,随着集成电路向着更高集成度、超小型化、高性能、高可靠性的方向发展,器件几何尺寸不断减小,芯片内部的连
【作 者】
:
卢永江
【机 构】
:
杭州电子科技大学
【出 处】
:
杭州电子工业学院 杭州电子科技大学
【发表日期】
:
2002年期
【关键词】
:
河流通道
网络流
通孔最小化
布线技术
集成电路
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