太赫兹源是太赫兹应用系统射频前端的核心单元组件之一。针对当前肖特基二极管的太赫兹二次倍频源链路总效率低、集成度不够、稳定性较差、单倍频程带宽限制和倍频器级间失配等问题,本文主要研究了肖特基二极管太赫兹高次倍频电路关键技术,文章提出了二极管热模型建模方法,细化了传统肖特基变容二极管的LEC模型,研究了三种高次倍频电路,并将仿真方法和部分无源电路结构应用到了变阻肖特基二极管电路当中,具体分为建模理论、电路拓扑结构、太赫兹无源结构测试方法和应用等四方面的研究:1)完善了二极管自热模型,提高二极管模型精度以及分析高次倍频电路理论。用变容管C-V特性和傅里叶变换分析了高次倍频电路各次谐波阻抗值,得到倍频效率最高的空闲电路组成形式;通过I-V、C-V和热测试分析,利用Verilog-A实现二极管建模。2)提出了基于太赫兹肖特基变容二极管、石英薄膜电路和金属腔体的三种高次倍频电路。主要包括全谐波空闲电路、多谐波提取电路和偶次平衡式倍频电路三种拓扑结构。全谐波空闲电路适用于较低倍频次数;多谐波提取电路适用于扩宽输出频谱,降低线性调频源本振链路复杂度;偶次平衡式倍频电路由于输入输出模式隔离,减小电路尺寸和复杂度,更适用于较高次数倍频。3)提出了一种位于金属细腔体内太赫兹薄膜电路去嵌入测量方法。利用去嵌入Kits简单、精度要求不高和波导接口的优点,将其成功的应用在紧凑型高倍频程阻带的滤波结构测试中,该结构是高次倍频电路的输入核心结构,该方法可以运用到位于金属细腔内其他太赫兹无源薄膜电路结构的测试中。4)使用高次倍频中二极管建模、全局仿真和紧凑型滤波电路的方法,实现了谐波混频电路以及变阻管平衡式三倍频电路的研究。研究了混频电路二极管建模、噪声和变频损耗的测试方法;利用奇次平衡式电路实现了 660GHz的倍频电路研究。