【摘 要】
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本文采用溶胶—凝胶法，对制备适合应用于非制冷红外焦平面阵列的BST薄膜材料进行了研究。首先，对配制稳定溶胶的工艺条件进行了研究，通过前期实验，最终确定了以乙酸钡、乙酸锶、钛酸丁酯为反应物，乙酸和乙二醇甲醚为溶剂，乙酰丙酮为螯合剂，控制反应温度在50～70℃，加水量不超过5﹪，所制备的溶胶稳定性较好。采用旋涂法涂膜，选择合适的涂膜条件制备了均匀性良好的湿膜，对湿膜的热处理工艺进行研究。采用XRD
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本文采用溶胶—凝胶法，对制备适合应用于非制冷红外焦平面阵列的BST薄膜材料进行了研究。首先，对配制稳定溶胶的工艺条件进行了研究，通过前期实验，最终确定了以乙酸钡、乙酸锶、钛酸丁酯为反应物，乙酸和乙二醇甲醚为溶剂，乙酰丙酮为螯合剂，控制反应温度在50～70℃，加水量不超过5﹪，所制备的溶胶稳定性较好。采用旋涂法涂膜，选择合适的涂膜条件制备了均匀性良好的湿膜，对湿膜的热处理工艺进行研究。采用XRD、AFM、XPS对薄膜进行分析；研究了分别掺杂锡、镧对BST的性能的影响，同时研究了具有交替结构(BSTSn/BLaST/BSTSn)的性能。研究发现：掺杂锡的薄膜介电常数和介电损耗均减小，介电常数和介电损耗对频率的稳定性较差；掺杂镧的薄膜介电常数减小不明显，介电损耗降低。测量了BST薄膜和BSTSn/BLaST/BSTSn薄膜的电滞回线和热释电系数。
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