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【摘 要】
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该文在充分地分析国内外MEMS微镜研究成果的基础上,结合卫星激光通信中的瞄准控制需求和北大的MEMS制造条件和加工技术,设计、制造并测试了新型硅基MEMS扭转微镜.论文的第一
【机 构】
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北京大学
【出 处】
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北京大学
【发表日期】
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2003年期
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