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半导体晶圆制造系统是当今最为复杂的离散制造系统之一,具有可重入流、大规模在制品混合加工、加工工序复杂、加工周期长、设备昂贵以及设备负载不均衡等明显区别于其他制造业的特点。随着自动化物料运输系统的普及,如何利用自动物料运输系统来提高晶圆制造企业的整体生产效率成为了亟待解决的问题。晶圆制造自动化物料运输系统包括了Interbay和Intrabay物料运输系统,其中Interbay物料运输系统是主要组成部分。通过对Interbay物料运输系统的优化调度,可以减少晶圆卡派送时间和等待时间,提高运输小车利用率