论文部分内容阅读
近年来,随着电子器件和信息系统的小型化和多功能化的不断发展,各种军用的、商用的微波电子器件(如环行器、隔离器、移相器等)都在向着高功率、高效能、低功耗、低成本的方向发展。为了满足社会对微波磁性电子器件提出的新要求,制备出一种高质量并且具有自偏置特性的铁氧体薄膜材料对于减小现有的微波器件尺寸,促进微波器件向着平面化和集成化的方向发展是至关重要的。M型六角钡铁氧体(BaM)具有稳定的物理、化学性质,良好的抗腐蚀性,强的单轴各向异性,且易磁化轴为C轴,垂直磁各向异性常数大、高频时具有高的电阻率和