太赫兹滤波器可以滤除不需要的频率和噪声,以提高太赫兹系统的性能。超材料是一种具有特殊电磁响应特性的人工复合材料或结构。目前,商业化的太赫兹滤波器只能选择特定频率的太赫兹波,其阻带或通带中心频率位置和幅值都不可调节,从而大大限制了滤波器的适用范围。因此,太赫兹可调滤波器是当前太赫兹领域急需要的一个重要功能器件。本论文主要开展基于静电驱动可重构超材料的太赫兹可调滤波器研究,具体内容如下:(1)基于微机电系统的静电梳齿驱动器研究。重点研究了驱动器各个结构参数对驱动器最大位移量的影响。静电梳齿驱动器与可动框架通过弹簧结构相连。当在静电梳齿驱动器上施加直流电压时,静电梳齿驱动器会带动可动框架移动。在30V的直流电压下,驱动器最大位移量可达到3微米。(2)基于静电驱动可重构超材料的可调太赫兹带阻滤波器研究。设计了一种由倒梯形环结构和一字型结构组成的可调太赫兹滤波器。当两者间距为3微米时,阻带的中心频率位于1.25THz;当两者间距为0(接触)时,阻带的中心频率为0.98THz,阻带中心频率的调制度达到21.6%。利用时域有限积分方法研究了该滤波器的滤波机理和滤波器结构参数对滤波特性的影响。(3)基于静电驱动可重构超材料的可调太赫兹带通滤波器研究。设计了一种可调带通滤波器,该滤波器中央单元由一个可动横杆和两个开口环构成。当可动横杆位于两个开口环中间时,滤波器有两个通带,各通带的中心频率分别为0.65THz和0.95THz。当可动横杆接近下开口环时,高频通带的透射幅值会逐渐减小直至变为0。利用时域有限积分方法研究了该滤波器的滤波机理和滤波器结构参数对滤波特性的影响。并用绝缘体上硅(Silicon-On-Isolator:SOI)体硅工艺加工出了样片,用太赫兹时域光谱系统对滤波器性能进行了测试。结果表明,驱动电压U=120V时,高通带中心频率处的透射幅值接近于0,仿真结果与实验结果基本一致。