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X射线有着独特的物理效应和化学效应,一直以来在医疗领域和生产领域具有广泛的应用,目前市场上的大多数X射线管采用的是热阴极电子源。相对于热阴极电子源,冷阴极电子源的X射线管具有体积小、响应快、容易聚焦、无需加热、容易数字化控制等优点,而日益成为研究热点。但目前所能获得的冷阴极也存在一些问题,如阴极电子发射效率不高,发射电流稳定性低,聚焦效果差等。 针对冷阴极电子源存在的上述问题,本文主要研究了基于碳纳米管(CarbonNanotubes,CNTs)的X射线管冷阴极电子源,包括冷阴极的制备及电子发射性能优化,聚焦结构的设计及仿真模拟,以及对封装后的冷阴极X射线管的成像测试。 本文采用丝网印刷的方法将CNTs转移到不锈钢基底上,其发射图案为直径1mm的圆形。为克服丝印CNTs容易脱落以及与阴极基底之间存在的非欧姆接触,本文重点研究了在CNTs与不锈钢基底之间引入不同的中间层对阴极发射电流的影响,实验发现银作为中间层时CNTs电子发射效率明显提高,当外加场强为6V/μm时,发射电流从 1.6mA(电流密度J=200mA/cm2)增加到4mA(J=500mA/cm2)。在没有外加冷却条件下连续1小时直流测试,电流可以稳定保持在3mA(J=380mA/cm2)不变。在银中掺入少量CNTs(银与CNTs重量比为5∶1)时,阴极电子发射性能进一步提高,当外加电场为6V/μm时,发射电流可达4.4mA(J=560mA/cm2)。在没有外加冷却条件下连续1小时直流测试,电流可以稳定保持在3.2mA(J=400mA/cm2)不变。实验结果表明,在丝印过程中引入的银和少量CNTs中间层,可成为发射材料和金属基底间的过渡层,不仅能增强CNTs在基底上的附着力,还能降低CNTs与基底之间的接触电阻,从而能改善阴极发射电流和电流稳定性。 为了提高CNTs冷阴极电子源的聚焦特性,本文设计了三极结构的聚焦系统并对其聚焦特性进行了模拟分析。其中,栅极包括聚焦栅极和栅网两部分:聚焦栅极用来对电子束进行聚焦;位于发射体上方的栅网能使阴极表面电场均匀分布以提高CNTs发射效率,并能减小电子束发散,但也会截获一部分阴极发射电子。本文在固定电压参数的情况下,模拟分析了电子束随聚焦栅极的上下孔径、栅网的孔径和孔间距参数的变化,以及栅网尺寸对电子透过率的影响,并计算确定了结构尺寸参数。在阳极电压为50kV,栅极电压为2kV时,可在阳极板上获得半径为15μm的焦点,同时电子在栅网处的透过率为35.8%。在阳极电压和栅极电压上下浮动20%的范围内,阳极焦点半径不超过60μm。 为了测试基于CNTs冷阴极三极聚焦结构的X射线管的特性,本文对封装后的X射线管进行了X射线直流成像测试。当栅极电压为4kV,阳极电压为38kV时,在阳极电流达到46μA,得到了较清晰的物体X射线静态图像,反映出冷阴极X射线管的良好发光特性以及聚焦特性。