随着红外与太赫兹波研究工作的深入开展，红外与太赫兹波的应用范围在逐年扩大，衍射器件的研发已成为其中的一个重要研究方向，受到了广泛关注和重视。本文基于衍射理论开发了用于红外与太赫兹衍射器件的设计软件，使用标准半导体工艺完成了多种器件的制作。红外衍射器件主要用于形成复杂波前结构，太赫兹衍射器件主要用于形成多种图形。软件在Matlab环境下编写和运行。采取模块化方式编写软件，主要包括可视化界面生成模块、默认参数设置模块、相位计算模块、cif文件生成模块。可视化界面生成模块包括软件窗口生成，菜单及子菜单生成，结果显示区域生成和按钮生成。默认参数设置模块保存预先设置在软件中的参数值，在被调用时将这些值赋予给对应参数。相位计算模块依据瑞利索末菲或角谱衍射理论仿真衍射过程，通过盖师贝格-撒克斯通算法(Gerchberg-Saxton Algorithm，简写为GS算法)计算光场相位。cif文件生成模块依据器件制作时所选取的腐蚀工艺，生成工艺制作必须的版图文件。将软件用于多种情况下的器件设计。依据具体要求，对软件功能进行改进和扩展，如自动化计算、图形生成模块、文件读写模块、成像效果测试模块等功能模块。提出相位分区计算的新方法，用于减少计算中的数据量，缩小生成文件，使工艺制作更易完成，精度更易控制。使用标准半导体工艺完成器件的制作。工艺流程包括掩模版制作、生长保护层、光刻和腐蚀等。本文分别讨论了湿法腐蚀与干法腐蚀的关键工艺流程，分析了它们对版图文件的要求。结合工艺中的限制条件，对版图文件的设计给出了详细说明。红外波前器件已进行了仿真设计以及工艺流程编制。制作了太赫兹器件并进行了测试。实验结果表明，器件达到了预期的效果。