在21世纪,由于人们对生活水平的不断追求以及科学研究的需求的不断提高,使得目前传统的常规传感器以及集成探测器的灵敏度在某些特定的应用环境之中并不能够再很好地适应目前社会与科研的最新需求。在此背景下,设计,开发和研究更高要求,更小型化,更加集成与便携的传感器便成为了当务之急。近年来,针对应用表面等离子体共振(SurfacePlasamaResonance,SPR)现象而开发出的一系列传感器,由于其灵敏度高,设计简单,可实现实时免标记选择性检测等一系列优点,受到了开发者的重视,目前SPR传感器已经被广泛地应用在生物医学,生物检测,化学检测,环境检测等一系列领域之中,与传统传感器相比,具有很高的性能以及相对低廉的生产价格等一系列优势。随着光电子学与集成光学技术的不断发展,目前的传感器也更加向着集成化,小型化甚至微型化的方向发展,但目前大多数的SPR传感器结构都基于传统的棱镜结构,大部分需要由极为复杂的元器件组成,体积偏大,因此,在一块普通的硅片或SOI片上集成传统的SPR传感器是一种必然而不可替代的发展趋势。同时,由于传统的半导体工业与现代集成光学的实验室流片的试验特性的区别,一般而言利用传统的半导体工业技术加工现代化的集成光学器件会遇到不同的困难,如工业标准化与实验室仪器高精度高加工要求的矛盾,将实验室设计的集成芯片集成到传统半导体工业中进行大规模生产的矛盾等一系列问题。因此,如何结合传统的半导体行业加工工艺技术来为最先进的集成光电子芯片设计进行加工与制作成为了光电子产业亟需解决的另一难题。本文针对前面提到的两个问题,提出了一种新型的SPR传感器结构,利用解理端面作为镜面,将传统的棱镜结构移植到SOI波导上,实现了器件的小型化与集成化,器件尺寸达微米级别。而通过与杭州士兰集成电路有限公司的合作,针对上文所述的传感器,利用传统的半导体工艺进行加工,最大程度化地利用了传统工艺的优势,优化了掩膜的制作过程与工艺生产过程,制作出了先进的光波导SPR传感器芯片,并取得了良好的测试结果,为未来该传感器的大规模生产化以及半导体行业针对光电子行业转型的工艺过程提出了一些建议。