【摘 要】
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铁电薄膜由于具有良好的铁电性、压电性、热释电性以及非线性光学等特性,因此它在存储器器件、感应器件、微波器件以及光学器件等领域有着非常巨大的应用前景,铁电薄膜与铁电块体材料相比,有着显著不同的物理性质,这主要是因为对于铁电薄膜而言,应力效应、尺寸效应、退极化场效应以及表面效应等因素对铁电薄膜性能有很大的影响。组份梯度铁电薄膜是功能梯度铁电薄膜的一种,组分梯度薄膜不止具有单一组分的铁电薄膜优越的性能,
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铁电薄膜由于具有良好的铁电性、压电性、热释电性以及非线性光学等特性,因此它在存储器器件、感应器件、微波器件以及光学器件等领域有着非常巨大的应用前景,铁电薄膜与铁电块体材料相比,有着显著不同的物理性质,这主要是因为对于铁电薄膜而言,应力效应、尺寸效应、退极化场效应以及表面效应等因素对铁电薄膜性能有很大的影响。组份梯度铁电薄膜是功能梯度铁电薄膜的一种,组分梯度薄膜不止具有单一组分的铁电薄膜优越的性能,它还具有功能梯度薄膜的一些独特的优良的特性。与单一组分的铁电薄膜相比,组分梯度薄膜具有一些显著不
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