【摘 要】
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该论文在分析比较国外自检测传感器的结构和机理的基础上,进行了热气驱动自检测压力传感器的结构设计.根据计算机模拟结构果进行了优化参数设计.完成了自检测压力传感器的制
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该论文在分析比较国外自检测传感器的结构和机理的基础上,进行了热气驱动自检测压力传感器的结构设计.根据计算机模拟结构果进行了优化参数设计.完成了自检测压力传感器的制作和测试,并对实验与模拟结查进行了比较分析.论文工作包括从设计模拟到器件制作及测试全过程,成功地完成了具有自检测功能的新型压力传感器原理、验证、样品的研制,填补了国内自检测压力传感器研究的空白,对推动中国压力传感器自检测技术的发展做出了重要贡献,对国防武器系统及医疗系统可靠性的提高有着重要的意义.
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